臭氧杀菌方法是目前*热门的灭菌技术之一，用以替代原有的化学熏蒸法、紫外线照射法等方法。与紫外线消毒、氯消毒比较，用废气治理臭氧发生器施放臭氧进行消毒具有相当大的优势，紫外线消毒维持时间短，氯气消毒有余氯存在，氯对人体健康有一定的危害。
臭氧灭菌方法具有高效、广谱、无毒、灭菌时间短、使用方便等优点，臭氧几乎对空气中所有的细菌、病毒、霉菌，特别是对干燥、日光、紫外线以及多数化学物耐力较强的真菌，都具有明显的灭活作用。臭氧可破坏病毒衣壳蛋白的四条多肽链并使RNA受到损伤，或者直接破坏噬菌体中RNA，从而使病毒死亡。臭氧与细菌细胞壁脂类双键反应，穿入菌体内部，作用于脂蛋白和脂多糖，改变细胞的通透性，从而导致细菌溶解和死亡。
重要的是使用废气治理臭氧发生器施放的臭氧消毒结束后会还原成氧气，没有二次污染，而且作用过程可以在极短时间内完成，是常规消毒灭菌手段如氯的300-600倍，紫外线的6000倍。
